離子薄片機(IS, Ion Slicer)

對於傳統的TEM的樣品製備, 往往需要相當的技巧與經驗才能作出良好的樣品，要不然就是須借助昂貴的FIB, 做出不到100mm 面積的有限薄區。而Ion Slicer提供了一種高品質與高再現性的作法，利用擺動離子束配合擋板的陰影，自然形成薄區，而範圍將大於500 mm。更重要的是，遠比FIB來得經濟且容易保養。

Features:

• High efficiency Ar ion gun
• High quality TEM pre-treatment
• Fast preparation
• Minimal surface damage
• Inner CCD to monitor sample slicing
• PC control interface