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電漿清理機



型號:Solarus II 955
規格:2-65W Ar O2 H2
技術文件:尚未上傳
廠商:Gatan

SOLARUS 955特點:

  • 主要應用
    • SEM 表面碳斑預防與清理
    • TEM/STEM表面碳斑預防與清理
    • EDS/EELS 分析中碳干擾的預防
    • 生物碳膜親水性處理

  • 新處理氣體配方
    • H2/O2 配方,提供比傳統 Ar/O2 配方更低處理溫度
    • Ar/O2 混合氣體配方,提供傳統使用者之需求
    • Ar/H2混合氣體配方,提供無氧工作環境

  • 全方位chamber設計
    • TEM holders X 2
    • SEM samples or parts(達直徑3.5吋)
    • 可option pumping station

  • 處理參數的控制
    • 電腦化觸控螢幕可自訂時間、功率、氣壓及氣體混合比

  • 全時監控處理程序

  • 真空系統: Diaphragm +MDP with gate valve 乾淨無二次污染。



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