SOLARUS 955特點：

• 主要應用
  • SEM 表面碳斑預防與清理
  • TEM/STEM表面碳斑預防與清理
  • EDS/EELS 分析中碳干擾的預防
  • 生物碳膜親水性處理


• 新處理氣體配方
  • H2/O2 配方，提供比傳統 Ar/O2 配方更低處理溫度
  • Ar/O2 混合氣體配方，提供傳統使用者之需求
  • Ar/H2混合氣體配方，提供無氧工作環境


• 全方位chamber設計
  • TEM holders X 2
  • SEM samples or parts（達直徑3.5吋）
  • 可option pumping station


• 處理參數的控制
  • 電腦化觸控螢幕可自訂時間、功率、氣壓及氣體混合比


• 全時監控處理程序


• 真空系統: Diaphragm +MDP with gate valve 乾淨無二次污染。