INCA 自動化分析系統
型號:INCA AutoMate+ 規格:SEM EDS 技術文件:尚未上傳 廠商:Oxford INCA Automate+ 自動化分析系統是一套可設定並儲存分析位置, 參數, 可自動無人化操作並取得結果, 節省大量人力時間. 基本上, 其運作方式類似巨集指令, 先紀錄task(此時動作如一般分析, 但軟體只記錄動作, 暫無真正分析), 再編輯task(可編修Stage, Column及資料收集參數), 最後再執行task(此時系統會自動找到位置並依設定分析. 本系統可搭配 EDS/WDS 運作.
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