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INCA 自動化分析系統


型號:INCA AutoMate+
規格:SEM EDS
技術文件:尚未上傳
廠商:Oxford

INCA Automate+ 自動化分析系統是一套可設定並儲存分析位置, 參數, 可自動無人化操作並取得結果, 節省大量人力時間. 基本上, 其運作方式類似巨集指令, 先紀錄task(此時動作如一般分析, 但軟體只記錄動作, 暫無真正分析), 再編輯task(可編修Stage, Column及資料收集參數), 最後再執行task(此時系統會自動找到位置並依設定分析. 本系統可搭配 EDS/WDS 運作.

INCA AutoMate+ 主要功能特性如下:

  • 使用巨集指令紀錄, 編輯並執行自動分析
  • Stage 位置及column 條件自動儲存
  • 在任一Stage 位置, 可收集, 影像, ED/WD 光譜, Beam automation, Smartmap, 等常用功能
  • 各Stage 結果可用Montage 結合成新的Project, 並可標準的map, linescan, spectrum reconstruction, Cameo+ 及Phasemap 等功能
  • 可把WDS map結合成EDS map 的一部份
  • 需搭配Motor stage 使用



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