特點：

• 強化低電壓性能的新型離子槍設計
• 離子槍能量範圍 0.1KV~8KV
• 離子槍流量自動調整
• 離子槍馬達控制
• 觸控螢幕設計
• 可設定操作流程(Recipe)
• 新型數位放大CCD
• 可藉由 Digital Micrograph軟體擷取影像
• 遠端觀察與監控
• 樣品X,Y載台可調
• 變速旋轉馬達
• 自動整合式光源
• 大容量Dewar瓶 (可維持6‐8 小時)
• 整合式溫控