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聚焦離子束顯微鏡


型號:JIB-4000 Plus
規格:
技術文件:尚未上傳
廠商:JEOL

Features:

  • STEMPLING 自動TEM 樣品製作功能: 可自動製作多重樣品
     
  • 高效能離子槍: 可選擇最大90nA(option) 或60nA 高效能離子槍,提升最大切割效率並縮短製作樣品時間 
     
  • 3D 觀察功能: 可序列切割觀察截面,並重構成3D 立體圖,方便作3D不同角度觀察量測
     
  • 豐富的配件,包括:
  1. TEM 樣品桿: 可在FIB 切完後直上TEM
  2. CAD 導航系統: 輔助線路修補用
  3. 向量掃描系統:特定形狀切割用
  4. GIS 氣體注射系統: 作鍍膜或氣體輔助蝕刻用
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