軟性X-光放射光譜儀
軟性X-光放射光譜儀是JEOL 專利創新發明, 具備 (0.3 eV (Fermi-edge, Al-L standard) 超高能量解析度,並以高低能量同步接收方式累加光譜。兼具WDS 的高能量解析與EDS 的高效率分析。
在分析能力上,藉由超高能量解析度,可以分析化學鍵結的差異,此外對於輕元素分析與偵測極限部分都顯著超越EDS 與 WDS