特色:

* 200KV 超高解析影像

* 低色散像差冷場發射式電子槍

* Advanced STEM corrector (ASCOR) 高階球差校正器可消弭六級像差

* 整合式 COSMO 自動調整操作介面

* Ad-hoc 結晶區域自動聚焦，像差調整

* Perfect sight NEO 偵測器，提供各電壓下更好的STEM 訊號

* 特用型 ABF 偵測器，觀察輕元素STEM 原子結構像

* e-ABF 實時ABF訊號處理，提高輕元素影像對比

* STEM 掃描穿透影像系統(可四種訊號同步擷取)

* STEM 明場像偵測器

* STEM HAADF 高角度環形暗場像偵測器

* STEM BEI 偵測器(選購)

* 觀察室相機系統，方便樣品搜尋及電子束校準

* 內建Lorentz 觀察模式方便材料磁區影像觀察

* 選區繞射功能

* 超高空間解析之 EDS, NBD, CBD分析