EDS(Energy Dispersive X-ray Spectrometer)與EBSD(Electron Back Scattering Diffraction)為現代SEM 材料分析的兩大重要技術，前者提供元素成分訊息，後者提供結晶材料相位分布訊息。 Oxford AZtec 分析系統以64位元作業系統為架構，提供更快速、更精確、更友善的操作介面。

數十年來這兩大技術均有長足的進步，近年來Oxford在這方面著力甚深，有頗多新穎的技術陸續開發出。

EDS 部分已進入SDD(Silicon Drift Detector)時代，Oxford全系列EDS產品具備了免液態氮、高計數率、更寬廣的元素分析範圍及維修簡便的優勢，而搭配Aztec 操作系統更能發揮如下的特點：

• 更大的掃描影像及Map尺寸
• Live Map 功能
• Tru-Q Engine^TM 技術:使量化結果更精確。
• Tru map、Tru line功能:主動解決波峰重疊問題，提供更真實的Map及 Line scan結果。
• Auto layer 功能:將各元素Map結果，自動疊成一張彩色影像，便於結果判讀
• 即時量化訊息: 在X-ray 訊息擷取同時，提供即時量化結果
• 友善操作介面

EBSD 部分，偵測器是以高感度的CMOS EBSD 偵測器可配合EDS整合分析(Synergy^TM) 加強分析的精確度，而搭配AZtec 可以發揮如下的特點

• 更大的掃描影像及EBSD Map尺寸
• Tru-I Engine^TM 技術: 自動幾何校正功能，讓操作者具備更彈性工作條件。
• Kikuchi pattern 自動最佳參數選取與背景校正。
• 與AZtec EDS 的整合操作介面
• 友善操作介面