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AZtec EDS/EBSD 分析軟體


型號:ver. 3.3
規格:EDS EBSD spectrum Truline Trumap Autolayer Xmax HKL
技術文件:尚未上傳
廠商:Oxford

EDS(Energy Dispersive X-ray Spectrometer)與EBSD(Electron Back Scattering Diffraction)為現代SEM 材料分析的兩大重要技術,前者提供元素成分訊息,後者提供結晶材料相位分布訊息。 Oxford AZtec 分析系統以64位元作業系統為架構,提供更快速、更精確、更友善的操作介面。

數十年來這兩大技術均有長足的進步,近年來Oxford在這方面著力甚深,有頗多新穎的技術陸續開發出。

EDS 部分已進入SDD(Silicon Drift Detector)時代,Oxford的X-max系列產品具備了免液態氮、高計數率、更寬廣的元素分析範圍及維修簡便的優勢,而搭配Aztec 操作系統更能發揮如下的特點:

  • 更大的掃描影像及Map尺寸
  • Tru-Q EngineTM 技術:使量化結果更精確。
  • Tru map、Tru line功能:主動解決波峰重疊問題,提供更真實的Map及 Line scan結果。
  • Auto layer 功能:將各元素Map結果,自動疊成一張彩色影像,便於結果判讀
  • 即時量化訊息: 在X-ray 訊息擷取同時,提供即時量化結果
  • 友善操作介面

 


EBSD 部分,偵測器是以高感度的HKL Nordly detector可配合EDS整合分析(SynergyTM) 加強分析的精確度,而搭配AZtec 可以發揮如下的特點

 

  • 更大的掃描影像及EBSD Map尺寸
  • Tru-I EngineTM 技術: 自動幾何校正功能,讓操作者具備更彈性工作條件。
  • Kikuchi pattern 自動最佳參數選取與背景校正。
  • 與AZtec EDS 的整合操作介面
  • 友善操作介面



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