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SEM 倍率校正樣品


型號:SEM Mag calibration
規格:SIRA, Microsphere, MRS, Calibrated SEM mount
技術文件:尚未上傳
廠商:SPI

SPI 的SEM 倍率校正樣品包括:

  1. SIRA(認證): 一組兩種標準格子樣品, 19.7 lines/mm (4.98um/格))及2160 lines/mm (0.463um/格), mount 在不同 SEM holder 上供選擇

  2. MRS系列(認證):亦可用於OM, 共焦顯微鏡, MRS-3,MRS-4,MRS-5 均建議加購retainer ring以方便拿取並減少污染

    MRS-3(石英+ITO film+Cr): X,Y 方向2um~8mm Z方向100nm, 倍率10~50K, 認證或無認證樣品供選擇

    MRS-4(石英+導電膜+Cr): X,Y 方向0.5um~8mm Z方向100nm, 倍率10~200K, 認證或無認證樣品供選擇

    MRS-5(矽基材+SiO2+W film):X,Y 方向80nm~3um ,認證或無認證樣品供選擇

    MR-1 Micro ruler(鈉鈣玻璃): 用於溯源量測法(將Ruler 與sample 同時放入量測, 10um~150mm 標準刻度

  3. Calibrate SEM mount:(矽基材): 10um 標準刻度, mount 在不同 SEM holder 上供選擇

  4. 標準尺寸球:SPI 提供玻璃或PolyStyrene標準尺寸球,其尺寸涵蓋0.1um~2000um



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