SPI 的SEM 倍率校正樣品包括：

1. Nanometer Calibration Standards:提供數十至數百nm, 可追朔之標準片，適合AFM, SPM, SEM, Auger 及 TOF-SIMS等多種分析儀器
2. MRS系列:亦可用於OM, 共焦顯微鏡, MRS-3,MRS-4,MRS-6 均建議加購retainer ring以方便拿取並減少污染
   
   MRS-3(石英+ITO film+Cr): X,Y 方向2um~8mm Z方向100nm, 倍率10~50K, 可追朔或不可追朔樣品供選擇
   
   MRS-4(石英+導電膜+Cr): X,Y 方向0.5um~8mm Z方向100nm, 倍率10~200K, 可追朔或不可追朔樣品供選擇
   
   MRS-6(矽基材+Cr film):X,Y 方向80nm~3um Z方向15nm,倍率1.5K~1000K, 可追朔或不可追朔樣品供選擇
   
   MR-1 Micro ruler(鈉鈣玻璃): 用於溯源量測法(將Ruler 與sample 同時放入量測, 10um~150mm 標準刻度
3. Calibrate SEM mount:(矽基材): 10um 標準刻度, mount 在不同 SEM holder 上供選擇
4. 標準尺寸球:SPI 提供玻璃或PolyStyrene標準尺寸球,其尺寸涵蓋0.1um~2000um