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場發射聚焦離子束顯微鏡


型號:JIB-4610F
規格:FESEM FIB Dual beam GIS
技術文件:尚未上傳
廠商:JEOL

JIB-4610F Dual Beam FIB system 主要功能特性如下:

  • Ga liquid metal ion source
  • Ultra high resolution TFE-SEM gun
  • High probe current up to 200nA for TFE-SEM gun
  • Option 3 Gas injection system are available
  • Option EDS for element analysis
  • Option cut and see function for layer by layer observation
  • Option 3D reconstruction function
  • Option pickup system for TEM sample pickup



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